技术编号：11515769
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及微机电系统(MEMS)与自动控制理论，具体为一种通过自动控制来提高MEMS近红外光谱仪吸光度重复性的方法。背景技术基于傅里叶变换的近红外光谱仪在石油化工领域的油品性质分析中有着重要的应用，伴随着MEMS技术的兴起，国内外已开始对基于MEMS技术的近红外光谱仪的研制，但由于重复性、分辨率等原因，目前还未见商品化的基于傅里叶变换的MEMS近红外光谱仪。基于傅里叶变换的近红外MEMS工作原理多种多样，其中电热式微镜的驱动原理利用材料的热膨胀实现驱动能力：当电流通过梁臂时，焦耳热产生的热膨胀将...
注意：该技术已申请专利，请尊重研发人员的辛勤研发付出，在未取得专利权人授权前，仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。