一种双干涉仪的空气折射率廓线的测量系统及方法与流程技术资料下载

技术编号:11515788

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本发明属于精密激光干涉测量领域,具体涉及一种双干涉仪的空气折射率廓线的测量系统及方法。背景技术在重大装备制造、装配过程中,激光干涉测量方法与仪器已广泛应用于各类大型零部件在线精密测量、跟踪定位。对于激光干涉测量,空气折射率是影响测量精度的一个重要制约因素。传统的空气折射率测量方法可分为间接测量法与直接测量法。间接测量法是在测量路径中设置一系列的温度、空气压强、湿度、CO2成分等环境参数传感器,代入Edlen经验公式或相关的修正公式间接计算空气折射率。这种计算得到的空气折射率不确定度主要取决于各环...
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