技术编号：11515951
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。晶片检查本申请是申请日为2012年7月10日，申请号为“201280040556.2”，而发明名称为“晶片检查”的申请的分案申请。相关申请案的交叉参考本申请案主张2011年7月12日申请的标题为“样本检查系统(SampleInspectionSystem)”的第61/506,892号美国临时申请案的优先权，所述申请案以引用的方式并入本文中，如同在本文中完全陈述一般。技术领域本发明大体上涉及经配置以检查晶片的系统。背景技术不应由于下文的描述及实例包含在此章节内而将其视为现有技术。在半导体制造过程期...
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