气体传感器的制造方法与工艺技术资料下载

技术编号:11516117

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本发明涉及一种气体传感器。本发明尤其是涉及用于以经改善的方式确定气体的浓度的一种装置以及一种方法。背景技术气体传感器被配置为确定诸如空气之类的流体介质中的预先确定的气体、例如臭氧的浓度。为此,气体传感器遵循间接测量原理,其中设置气敏元件,在气敏元件处能够确定可能受气体浓度影响的参数。该参数理想地仅仅依赖于要测量的气体的浓度(选择性)。气体浓度的小的改变就已经应当以可测量的方式影响参数。在气体浓度与可测量的参数之间应当存在所定义的关联(精确度)。要测量的特性应当尽可能快地随着气体浓度改变(短测量时...
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