技术编号:11516588
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明属于微电子机械技术领域,涉及一种微惯性传感器,具体涉及一种带自标定振动台的电容式加速度传感器。背景技术在各类检测原理的微机械传感器中,电容式加速度传感器由于具有温度系数小、灵敏度高、稳定性好等优点,是目前研制得最多的一类加速度传感器。目前研发的电容式加速度传感器可以用于石油勘探、桥梁振动状态监测等领域。电容式加速度传感器在使用以前,通常采用传统的校准方法如振动台标定系统等进行校准,以确定其幅频响应特性、相频响应特性等。但是在传感器用于石油勘探,或者安装在跨海大桥等结构上后,当传感器发生性能...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。