技术编号:11516597
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及光电测试领域,尤其涉及一种基于扫描探针的光路减震装置及方法。背景技术在材料的微观光电表征分析中,通常需要涉及到辅助的光路系统。在常规的激光辅助光电测试系统中,特别是单激光光源多设备联用的情况下,一般测试系统和光学系统是分立的。测量过程中,首先对样品进行普通的表面电学表征。之后,对样品的光电响应进行表征的时候,加入激光,激光光源是从另一独立的设备中发射过来,并通过反射镜、准直镜等的调节最终将激光光斑投射到指定的位置;最后通过扫描探针设备对样品进行测试,实现定点原位光电响应表征。但是,由于...
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