技术编号:11516601
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。磁-电-热多参量耦合显微镜探针、其制备方法与探测方法技术领域本发明涉及一种扫描探针显微镜的探针,特别是涉及到一种磁-电-热多参量耦合显微镜探针、其制备方法与探测方法。背景技术随着信息技术的高速发展,集成电路的电子原器件趋于小型化和集成化方向发展,电子元器件的尺寸进入微/纳尺度,其发热与散热问题已经成为制约进一步高度集成的瓶颈问题。微/纳尺度下表征与热相关的物性,理解发热和散热的物理过程已经成为现代热科学中的一个崭新的分支—微/纳尺度热科学。在微/纳尺度下,材料的微观结构和畴结构(对于磁性、铁电材...
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