技术编号:11517125
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及光电子技术领域,尤其涉及一种脊波导激光器电极接触窗口的制作方法。背景技术脊波导激光器是一种常见的半导体激光器,其以制作简单、重复性好、成品率高等诸多优点而成为光纤通讯类半导体激光器的主流。脊波导激光器的电流注入位置为脊波导结构的顶部表面,也称作电极接触窗口,电极接触窗口的顶部表面用来制作金属电极,在脊波导激光器的设计和制作中,对金属电极的尺寸、位置及厚度是有严格要求的。在脊波导结构顶部的金属电极的制作工艺中,电极接触窗口的制作是非常关键的一步,该技术关系到了脊波导激光器阈值电流、特征温...
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