技术编号：11517690
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明属于宽带电光调制器技术领域，具体涉及一种基于铌酸锂薄膜的宽带行波电光调制器及其制备方法。背景技术目前，铌酸锂宽带电光调制器已在光纤通信、光载微波或毫米波通信等工程领域得到广泛应用，目前常采用共面行波电极结构以实现高工作带宽。然而铌酸锂体材料较高的介电常数，使得微波信号的折射率远大于光波的折射率(即折射率失配)以及行波电极的特征阻抗远小于终端负载的特征阻抗(即阻抗失配)，导致了铌酸锂电光调制器工作带宽的下降。因此，为实现宽带调制，当前较为常见的技术方案多采用增加缓冲增厚度、增加金属电极厚度、...
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