技术编号：11518005
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及液晶产品制作技术领域，尤其涉及一种干燥装置。背景技术精细金属掩膜(FMMMask)模式，是通过蒸镀方式将OLED(有机发光二极管，OrganicLight-EmittingDiode)材料按照预定程序蒸镀到LTPS(低温多晶硅)背板上，利用掩膜板上的图形，蒸镀红绿蓝有机物到规定位置上。目前的DryBath(干燥腔室)3的底部是封闭结构(只有排液一个孔)，如图1和图2所示，当风刀(AK)2进行向下吹气干燥掩膜板1的时候，由于干燥腔室3的下部分的几乎封闭式的结构，风刀2向下吹的气20在饱和...
注意：该技术已申请专利，请尊重研发人员的辛勤研发付出，在未取得专利权人授权前，仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。