一种制备亲疏图案的光刻方法与流程技术资料下载

技术编号:11518023

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:本发明涉及一种制备亲疏图案的方法,具体涉及一种制备亲疏图案的光刻方法。背景技术:亲疏图案是指由亲水区和疏水区组成的图案,它在微通道、胶版印刷、细胞生长和筛选、表面粘附性的控制等都有着广泛的应用前景。亲疏图案的制备方法包括剥离、喷墨印刷、激光刻蚀、紫外光刻等方法,其中紫外光刻方法是应用最为广泛的一种。紫外光刻技术是指在紫外光照作用下,借助光刻胶将光掩膜版上的图形转移到基片上的技术。在此种紫外光刻技术中,光掩模版是必须的。然而,光掩模版的使用在一定程度上使光刻过程变得复杂,并且限制了光刻技术的使用...
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