技术编号:11521815
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及显示技术领域,特别涉及一种电极结构的制备方法、电极结构、薄膜晶体管及显示装置。背景技术在制作薄膜晶体管的过程中,为了形成金属电极的图形,通常采用湿法刻蚀方法对金属电极进行刻蚀,但是,在湿法刻蚀的过程中,光阻层容易从金属电极表面脱落,影响刻蚀工艺的正常进行。因此,如何在湿法刻蚀的过程中防止光阻层从金属电极表面脱落是一个亟待解决的问题。发明内容有鉴于此,本发明实施例提供了一种电极结构的制备方法、电极结构、薄膜晶体管的制备方法、薄膜晶体管及显示装置,用于解决采用湿法刻蚀时,金属电极顶层的金属...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。