技术编号：11527793
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及包括一个或多个机械预加载悬架弹簧的MEMS结构，特别地但非排他地，涉及包括一个或多个机械预加载悬架弹簧的惯性MEMS传感器和用于机械预加载MEMS传感器中的一个或多个悬架弹簧的方法。背景技术地震传感器网络用于地震成像，以提供允许详细检查地球的结构和油气储藏的定位的三维图像。对于确定钻井的优化位置和增加储藏中的油或气的提取而言，准确成像是关键的。在地震行业中，由于地震检波器(无源惯性速率传感器)良好的灵敏度(典型地，在5Hz和30Hz之间，优于)、低成本和耐久性，其成为最广泛使用的传感器...
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