技术编号:11529892
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。电容式力传感器本发明涉及一种电容式力传感器,其结构包括一个基面体以及一个平面的、可弹性变形的膜片体。在已知的力传感器中,膜片体通过一个或者多个隔片紧贴在基面体上,所以膜片体和基面体之间就形成一个空腔,该空腔分别受膜片体的一侧和基面体的一侧的限制。在向膜片体施力时,空腔的容积发生变化。限定空腔的基面体和膜片体表面通常都有一个金属层或者涂层,以此构成具有测量电容的测量电容器的彼此相对的电极。空腔填入电介质,例如空气。由于膜片体具有一定的弹性,在力的作用下会弯曲。因此电极彼此的距离会发生变化,受空腔或...
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