离子过滤器以及其制造方法与流程技术资料下载

技术编号:11531290

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本发明涉及使用于电子放大器的离子过滤器以及其制造方法。关于承认通过参照文献而引用的指定国,将2014年9月17日在日本申请的日本特愿2014-189317号所记载的内容通过参照而引入本说明书,并作为本说明书的记载的一部分。背景技术已知一种具备电子放大膜的气体电子放大器(专利文献1)。专利文献1:日本特开2007-234485号公报这种气体电子放大器使检测对象的放射线入射,使用具备许多的贯通孔的电子放大膜,利用电子雪崩效应使因放射线与气体的光电效应而产生的相互作用而从气体原子飞出的电子放大,对其电...
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