技术编号:11531314
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及在使用含有氯乙烯树脂作为液体接触构件的清洗装置的晶圆的清洗中,使用规定的化学溶液的晶圆的清洗方法。背景技术在晶圆的清洗装置中,如专利文献1~8,有时在与清洗液、处理液接触的构件(液体接触构件)中使用氯乙烯树脂,对于使用的清洗液、处理液要求不会使该氯乙烯树脂劣化。对于含有氯乙烯树脂作为液体接触构件的清洗装置,例如可以举出:在清洗处理槽内与清洗液、处理液接触的构件的一部分或全部为氯乙烯树脂那样的晶圆的清洗装置;容器、配管、连接构件、喷嘴等与清洗液、处理液接触的构件的一部分或全部为氯乙烯树脂...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。