技术编号：11531346
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明大体上涉及用于利用持久晶片成像进行自动化工艺窗口特征化和系统性缺陷检测的方法和系统。背景技术以下描述和实例并非由于其包含在这段落中而被承认为现有技术。在半导体制造工艺期间的各个步骤使用检验过程以检测晶片上的缺陷以促进所述制造工艺中的较高良率和因此较高收益。检验始终为制造半导体装置的重要部分。然而，随着半导体装置的尺寸减小，检验对于可接受半导体装置的成功制造变得更加重要，这是因为较小缺陷可引起所述装置发生故障。工艺窗口合格性鉴定(PWQ)是对以特定方式制造的样品执行的检验类型，其对于检验是否...
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