技术编号:11531362
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。用于工件的静电夹持的系统和方法相关申请的引用本申请要求于2014年9月19日递交的名称为“SYSTEMANDMETHODFORELECTROSTATICCLAMPINGOFWORKPIECES”的美国临时申请No.62/052,834的优先权,其内容通过引用全部合并于此。技术领域本发明总体涉及静电夹持系统,更具体地,涉及快速释放静电夹持的工件的系统和方法。背景技术静电夹具或卡盘(ESC)通常在半导体工业中用于在基于等离子体或基于真空的半导体工艺(例如离子注入、蚀刻、化学气相沉积(CVD)等)期间...
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