技术编号:11531479
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。多层压电薄膜元件本发明通常涉及适于致动器、传感器、能量收集设备和多层电容器中的使用的压电薄膜元件以及制造该元件的方法。特别地,但不排他地,涉及适合用作喷墨打印机中的打印头的致动器的压电薄膜元件、以及包括该元件的致动器、包括致动器的打印头和包括该打印头的喷墨打印机。适合用作喷墨打印机中的打印头的致动器的典型薄膜压电元件包括在衬底上形成的金属或金属氧化物底部电极、金属顶部电极和插入在顶部和底部电极之间的压电薄膜。压电薄膜可以通过包含溅射、物理气相沉积(PVD)、化学气相沉积(CVD)、脉冲激光沉积(...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。