技术编号：11531986
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及弹性波谐振器、弹性波滤波器等弹性波装置及其制造方法。背景技术以往，作为谐振器、带通型滤波器，采用了各种弹性波装置。在下述的专利文献1中公开了利用了作为板波的兰姆波的弹性波装置。专利文献1中，在压电基板上形成有IDT电极。在压电基板的下表面，接合了具有在上方开放的开口的增强基板。该开口位于设置有IDT电极的部分的下方。该开口被压电基板封闭，从而形成了空腔部。在先技术文献专利文献专利文献1：JP特开2007-251910号公报发明内容发明所要解决的课题在弹性波装置中，不仅设置有IDT电极，...
注意：该技术已申请专利，请尊重研发人员的辛勤研发付出，在未取得专利权人授权前，仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。
该类技术注重原理思路，无完整电路图，适合研究学习。