技术编号:11540515
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种用于沉积钝化膜的设备和一种用于沉积钝化膜的方法,并且更具体地说,涉及一种用于沉积钝化膜的设备和一种用于沉积钝化膜的方法,其在单个腔室中沉积层压有多个材料层的钝化膜。背景技术由于例如有机发光二极管(organiclight-emittingdiode,OLED)、有机太阳能电池或有机薄膜晶体管(organicthinfilmtransistor,有机TFT)等有机电子装置的弱耐水性和弱耐氧气性,所以需要用于形成钝化膜(或包封膜)保护所述装置的方法。此处,需要用于有机电子装置的钝化膜不...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。