技术编号:11543295
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及半导体器件领域,具体涉及一种AlGaN渐变组分超晶格雪崩光电二极管(APD)。背景技术紫外探测在民用和军事等领域均具有广泛的应用,包括化学和生物分析(臭氧,污染物以及大部分有机化合物的吸收线在紫外光谱范围)、火焰探测(包括火灾报警,导弹预警和制导,燃烧监测等)、光通信(特别是卫星间采用波长小于280nm的紫外光进行通信)、紫外光源的校准(仪器,紫外线光刻等),以及天文学研究。传统的紫外探测主要依靠光电倍增管(PMT)、热探测器、半导体光电二极管(Photodiode)或电荷耦合器件(C...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。