技术编号：11544370
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种重组方法，尤其是一种直写式光刻机中倾斜式扫描数据的重组方法，属于直写式光刻机倾斜式数据处理的技术领域。背景技术直写式光刻机设备又称影像直接转移设备，在半导体及PCB生产领域是一个关键设备。与传统半自动曝光设备相比，其利用图形发生器取代传统光刻机的掩模板，从而可以直接将计算机的图形数据曝光到晶圆或PCB板上，节省制板时间和制作掩模板的费用。而为了进一步提高设备曝光分辨率及生产产能，在影像直接转移的数据处理上，会采用倾斜式的数据处理方式。由于采用倾斜式的数据处理方式，以及图形发生器数字...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。