半导体结构的制造方法与工艺技术资料下载

技术编号:11546809

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本发明的实施例涉及半导体结构。背景技术电感器已经用于各种微电子电路应用中,诸如变压器、电源转换器、电磁干扰(EMI)噪声降低以及包括振荡器、放大器和匹配网络的射频(RF)和微波电路。电子工业中的主要趋势是使电子组件更轻、更小、更强大、更可靠和成本更低。因此,包括电感器的电子器件期望形成在芯片上,即,电感器期望集成在集成电路和/或形成在半导体封装件中。发明内容本发明的实施例提供了一种半导体结构,包括:第一磁性层;绝缘氧化物层,位于所述第一磁性层上方;氧俘获层,位于所述绝缘氧化物层上方,其中,所述氧...
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