技术编号:11557793
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明大体上涉及电子电路,尤其涉及MEMS传感器电路。背景技术微机电系统(MEMS)包括执行电功能和机械功能的小型机械装置,所述小型机械装置通过与制作集成电路使用的技术相似的光刻技术制作而成。一些MEMS装置是检测动作的传感器(如加速计),或是检测角速度的传感器(如陀螺仪)。加速计是一种经受响应于作用在其上的加速度的可测变化的装置。MEMS加速计包括压电性加速计、压阻性加速计和电容性加速计。由于MEMS传感器尺寸小,因而被包含在电子装置(例如,视频游戏控制器和智能手机)中。响应于加速度,电容性加...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。
该类技术注重原理思路,无完整电路图,适合研究学习。