一种用于复杂器件CT扫描成像的装置的制造方法技术资料下载

技术编号:11560455

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本实用新型涉及失效分析无损检测领域,特别是指一种用于复杂器件CT扫描成像的装置。背景技术随着当今电子工业技术的飞速进步,元器件产品无论从设计结构、材料选用、制造工艺、封装工艺方面都进行着日新月异的发展,并且失效方式也错综复杂,这对失效点的位置确定带来了很大的困难。对于复杂失效件这种唯一性的样件,在未确定失效位置的情况下,不得轻易进行破坏性分析,这时就需要用到非破坏性的内部检查方式来确定失效位置,X射线是最好的检测手段。但是在目前X射线的检测领域,对于复杂结构元器件,其内部结构往往具有多层或者阵列...
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