技术编号：11568210
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明大体上涉及微机电(MEMS)传感器装置。更确切地说，本发明涉及具有集成多个刺激感测能力的MEMS传感器装置。背景技术微机电系统(MEMS)装置为具有嵌入式机械组件的半导体装置。MEMS装置包括(例如)压力传感器、加速度计、陀螺仪、麦克风、数字镜面显示器、微射流装置等。MEMS装置用于多种产品中，例如汽车安全气囊系统、汽车内控制应用程序、导航、显示系统、喷墨盒等。随着MEMS传感器装置的使用继续增加且多样化，越来越强调高级硅MEMS传感器装置发展成能够以增强了的敏感度感测不同的物理刺激，并且...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。