技术编号：11568212
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及微机电系统(MEMS)的技术领域以及用于生产该微机电系统的方法。背景技术微机电系统(MEMS)用于小型装置和组件群组，这些小型装置和组件群组在非常小的尺寸内实现并包括为了特定功能而彼此配合的部件。通常，MEMS包括均在一个共同的半导体基底上实现的一个或多个传感器或致动器以及电子控制电路。整个MEMS的大小通常约为数微米。MEMS可以用于在(a)机械部件如机械传感器或致动器以及与(b)连接至该机械部件的电子电路之间需要机械交互的任何类型的应用。一般而言，MEMS是通过标准半导体工艺建造的...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。