技术编号：11568551
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种用于玻璃磁控溅射镀膜的方法。背景技术目前，导电玻璃广泛的使用于各类带有屏幕的电子产品中。氧化铟锡透明导电膜玻璃是在玻璃上溅射氧化铟锡导电薄膜镀层并经高温退火处理得到的高技术产品。氧化铟锡是靶材通过磁场中磁力线的作用溅射至玻璃上进行镀膜的。现有的玻璃镀膜生产过程中，靶材一般是整块分布，当其不满足生产要求时，对其进行更换。而由于磁力线本身是一个闭合的环，因此靶材上部分区域的电子始终不会出射，直接遗弃会造成资源的浪费，且靶材本身的成本也相对较高。发明内容本发明的目的是提供一种用于玻璃磁控...
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