技术编号:11575790
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及显示技术领域,尤其涉及一种超声波清洗装置及基板处理系统。背景技术在显示产品的制造过程中需要对基板的表面进行清洗,以对基板进行进一步处理。由于基板表面不是绝对光滑的而是存在着许多非常微小的缝隙,杂质颗粒(Particle)等进入缝隙处后,利用现有的形成气刀的吹气装置对其进行吹扫难以将缝隙处中的杂质颗粒吹扫出来,从而导致后续对基板进行进一步处理时,在基板表面产生大量的杂质残留(Remain),影响产品品质。发明内容鉴于此,为解决现有技术的问题,本发明的实施例提供一种超声波清洗装置及基板处理...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。