技术编号：11577750
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明属于仪表与传感器技术领域，涉及一种电容传感器，特别涉及一种差动式变极距垂直电极型电容传感器。背景技术由于具有结构简单、动态特性好、能实现非接触式测量等优点，变极距型电容传感器被广泛应用于超精密加工、高精度定位与超精密测量等领域；如用于测量位移、力、压力与速度等参量。现有变极距型电容传感器普遍采用平行电极板式电容传感器，其电容变化的灵敏度受位移变化影响较大，电容输出量具有严重的非线性。基于电容边缘效应的变极距垂直电极型电容传感器，其灵敏度相比于传统的平行电极式电容传感器受电极间距影响更小，然...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。