技术编号：11578922
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及光腔衰荡光谱技术领域，特别涉及一种基于光腔衰荡光谱技术检测高纯气体中水汽含量的系统。背景技术在过去20年间，用光学方法来探测衡量气体的含量，已广泛应用于环境监测、医疗诊断、燃烧进程控制和安检等领域。随着半导体产业的进步，超高纯度气体对于半导体集成电路中所追求的越来越小的几何特证具有极其重要的作用。而超高纯度气体中只要有十亿分之几的水汽便可影响半导体单晶的生长质量,而水中的氧气配合物将降低少数载流子寿命,这将会直接影响到元器件寿命。因此检测半导体行业生产过程用气中的水汽便极为重要，本发明...
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