一种金属‑半导体双纳米线型混合表面等离子波导结构的制造方法与工艺技术资料下载

技术编号:11580625

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一种金属-半导体双纳米线型混合表面等离子波导结构技术领域本发明涉及光通信技术领域,具体是一种金属-半导体双纳米线型混合表面等离子波导结构。背景技术表面等离子体激元(Surfaceplasmonpolaritons,简称SPP)是通过改变金属表面的亚波长结构实现的一种光波与可迁移的表面电荷之间电磁模,可以支持金属与介质界面传输的表面等离子波,从而传输光能量,且不受衍射极限的限制。正因为SPPs这种独特的性质,使其在纳米量级操纵光能量发挥着重要的作用。尤其以浙江大学与瑞典皇家理工学院阿尔芬实验室课题...
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