技术编号:11583029
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及金刚石制备工艺领域,特别是一种使用氩气流作为气体屏蔽、钼制柱面体作为加热器、增大了加热表面、减少碳化物生成的一种沉积制备金刚石的方法。背景技术金刚石的化学气相沉积的方法有,对氢气和含碳气体的混合气进行热灯丝表面的热活化、激光活化、射频活化、在微波等离子体内活化、等离子体焰射流活化等,这些方法的缺陷分别为:热灯丝表面的热活化方法的金刚石沉积率不高;电弧等离子体方法生长出的金刚石质量不高,且能耗过大;微波活化方法的沉积率也不高。现有技术中气体-射流沉积方法,即使用多种活化粒子与一个延伸表面...
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