技术编号：11586480
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种用于半导体工件的搬运系统。背景技术在集成电路(IC)的批量制造期间，工件在多个处理及检验工具处重复处理以逐渐构造IC。归因于多个工具的使用，在工具之间搬运工件对于快速及高效批量制造IC是重要的。根据一些搬运系统，工件由在轨条上行进的高架式搬运(OHT)载具搬运。OHT载具可经配置以将工件抬离工具的装载端口以沿着轨条侧向移动工件及/或将工件放低到工具的装载端口上。发明内容因此，如可从上文了解，本发明提供一种用于半导体工件的搬运系统。第一载具经配置以在第一轨条上行进且沿着所述第二轨条移...
注意：该技术已申请专利，请尊重研发人员的辛勤研发付出，在未取得专利权人授权前，仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。