技术编号:11587621
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及声表面波传感器领域,尤其涉及一种延迟线型声表面波传感器阵列。背景技术目前,声表面波是在固体半空间表面存在的一种沿表面传播、能量集中于表面附近的弹性波。1965年R.M.White发表“一种新型声表面波声-电转换器”的论文,在压电材料表面激励声表面波的金属叉指换能器IDT的发明,奠定了声表面波技术的发展。压电材料为各向异性材料,外界物理量影响材料属性。基于此原理做成的声表面波传感器可以应用于测量多种参数,例如:机械应变、应力、微小位移、作用力、温度等。声表面波传感器依据结构不同分为谐振器...
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