技术编号：11588171
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。软X射线滤光膜技术领域本发明涉及软X射线探测的技术领域，特别涉及一种应用于高压力差封装的软X射线滤光膜。背景技术X射线探测器有时需要工作在真空环境，而X射线源则在真空腔室外，为保证X射线顺利到达探测器并阻止可见光进入真空腔室，同时保证真空腔室的气密性，需要一个可以抗一个大气压以上的过滤X射线的装置；另外应用于真空环境的气体室类X射线探测器也需要可以透过X射线的装置来进行封装，传统的封装技术是利用铍片结合钎焊或胶合的工艺进行真空封装。由于铍片较脆，对于较薄的铍片不容易封装加工，在保证低能X射线透过...
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