缺陷检查方法及其装置与流程技术资料下载

技术编号:11588329

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本发明涉及从使用超声波或X射线等得到的被检查对象的图像检查缺陷的装置,特别涉及适合于具有多层构造的被检查体的检查的检查方法及使用它的非破坏检查装置。背景技术作为从被检查对象的图像检查缺陷的非破坏检查方法,有使用向被检查对象照射超声波并检测其反射波而制作的超声波图像的方法、使用向被检查对象照射X射线并检测透射了试料的X射线而得到的X射线图像的方法。通常,为了用超声波来检测在具有多层构造的被检查体内存在的缺陷,利用由声阻抗的差异形成的反射特性。超声波在液体及固体物质中传输,在声阻抗不同的物质的边界面...
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