一种基于微纳光纤锥的亚波长点光源及其制备方法与流程技术资料下载

技术编号:11588893

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本发明涉及光纤器件技术领域,具体涉及一种基于微纳光纤锥的亚波长点光源及其制备方法,能显著减小点光源的光斑尺寸,同时具有较高的透过率,可广泛应用于高密度信息存储、高分辨率测量仪器、光刻系统、扫描近场光学显微镜等领域。背景技术近年来,高密度信息存储、高精度加工技术以及高分辨率测量仪器等领域对光斑尺寸小且透过率高的点光源提出了迫切的需求。在传统的光学系统中,点光源的制备采用的是利用透镜系统对空间光进行聚焦的方法,由于衍射极限的限制,这种方法只能将光聚焦到半波长量级,无法实现光斑尺寸在几十纳米量级的点光...
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