技术编号:11600457
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及镀膜领域,特指一种真空镀膜机进气装置。背景技术目前真空镀膜的种类大致可分为蒸发镀膜、溅射镀膜和离子镀,然而无论是上述的哪种形式的真空镀膜,其镀膜过程都需要一个良好的真空环境;现有技术中依靠抽真空设备,例如机械泵加扩散泵的组合设备,虽然能很好的满足镀膜机的真空度要求,并且产品完成镀膜后,通过打开泄压阀即可进行泄压,最终出料,但泄压过程将会伴随着较大的吸力,对于环境较差的厂房,直接打开泄压阀会使含有大量杂质颗粒的外部空气瞬间进入设备内,不仅影响到后续产品的镀膜过程,而且可能会导致镀膜机...
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