技术编号:11603906
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及压力传感器技术领域,具体涉及一种带有精度调整功能的压力传感器。背景技术压力传感器是使用最为广泛的一种传感器;传统的压力传感器以机械结构型的器件为主,以弹性元件的形变指示压力,但这种结构尺寸大、质量重,不能提供电学输出;目前,随着半导体技术的发展,半导体压力传感器也应运而生,其特点是体积小、质量轻、准确度高和温度特性好。半导体压电阻抗扩散压力传感器是在薄片表面形成半导体变形压力,通过外力(压力)使薄片变形而产生压电阻抗效果,从而使阻抗的变化转换成电信号。其中,现有的一种压力传感器,包...
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