技术编号：11609927
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明实施例涉及MEMS器件和多层结构。背景技术微机电系统(MEMS)是一种微型器件，其尺寸通常在从小于1微米至几毫米的范围内。MEMS器件包括感测诸如力、加速、压力、温度或振动的物理条件的机械元件(静态元件和/或可移动元件)和电子元件以处理电信号。MEMS器件广泛地用在诸如汽车系统、惯性制导系统、家用电器、用于各种器件的保护系统以及一些其他的工业、科学和工程系统中。此外，MEMS应用可延伸至诸如可移动反光镜的光学应用和诸如射频(RF)开关的RF应用。发明内容根据本发明的一个实施例，提供了一种微...
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