技术编号：11617971
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种使用电容式压力测量单元进行的相对压力测量方法以及相对压力测量单元。背景技术在现有技术中已知有各种相对压力传感器。相对压力传感器用于测量待测介质中的压力和当前给定的大气压力之间的压力差。这种相对压力传感器由基体制成，基体和在边缘处与其连接的测量膜一起形成传感器室和/或压力室。为了测量相对压力，经由基体侧的通气口将基准空气引入传感器室中，其中这里，待测量的压力作用在测量膜的背离传感器室的表面上。由此引起的测量膜的变形表示相对压力的测量值，其被转换为测量信号。使用间隔件将包括基体烧结体和...
注意：该技术已申请专利，请尊重研发人员的辛勤研发付出，在未取得专利权人授权前，仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。