一种大径厚比光学元件的多功能夹持系统的制造方法与工艺技术资料下载

技术编号:11619555

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本发明涉及一种大径厚比光学元件的多功能夹持系统,属于机械设计及力学分析技术领域。背景技术大型和超大型光学系统中,使用了大量的大口径光学元件,一般径厚比大于40,容易发生变形,影响到系统的光学性能。传统的夹持方式针对这种大口径光学元件通常采用密封胶条等非金属柔性材料作为与光学元件的直接接触元件。然而,该类非金属材料在高功率密度激光光路中极易产生分解,分解产生的大量微小颗粒将造成光路的严重污染,破坏光路系统的高洁净环境。高功率密度光学系统对其光路中的巨量大径厚比光学元件具有高面型精度以及高洁净度的严...
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