技术编号:11624944
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及压电设备以及压电设备的驱动方法。背景技术压电元件一般包含具有电气机械转换特性的压电体层、和夹持压电体层的两个电极。近几年,将这样的压电元件作为驱动源使用的设备(压电设备)的开发在积极地进行。作为压电设备,存在以喷墨式记录头为代表的液体喷射头、以压电MEMS元件为代表的MEMS要素、以超声波传感器等为代表的超声波测定装置以及压电促动器装置等。压电体层使用锆钛酸铅(Pb(Zr,Ti)O3,以下称为“PZT”)、铌酸钾钠((K,Na)NbO3,以下称为“KNN”)等压电材料。为了确保压电特性...
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