技术编号：11628223
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明的实施方式涉及一种基板处理装置。背景技术在液晶显示装置等的制造工序中，使用了基板处理装置。该基板处理装置在处理室内向基板供给处理液(例如药液、清洗液等)，对基板的被处理面进行处理。在基板处理装置的处理室的顶棚上，有时会附着处理液的液滴。若附着于该顶棚的液滴从顶棚落下而附着于基板，则在基板干燥后，会在基板上形成污点。并且，由于附着于顶棚的液滴含有附着于顶棚的污物等，因此容易产生前述的污点。由于成为该污点的位置在基板作为液晶显示装置而形成产品时残留于液晶画面，因此使得该液晶显示装置成为不合格品...
注意：该技术已申请专利，请尊重研发人员的辛勤研发付出，在未取得专利权人授权前，仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。