技术编号:11633118
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明的实施方式涉及一种材料沉积布置、一种用于材料沉积布置的分配管道、一种具有材料沉积布置的沉积设备、以及一种用于将材料沉积在基板上的方法。本发明的实施方式尤其涉及一种用于真空沉积腔室的材料沉积布置、一种具有材料沉积布置的真空沉积设备、以及一种用于在真空沉积腔室中将材料沉积在基板上的方法。背景技术有机蒸发器为用于生产有机发光二极管(organiclight-emittingdiodes,OLED)的工具。OLED为一种特别类型的发光二极管,在OLED中,发射层包括特定有机化合物薄膜。有机发光二极...
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