技术编号:11633133
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本公开涉及对基板的涂布,具体地是涉及将柔性基板导引通过涂布设施的卷材涂布工艺,例如辊到辊(roll-to-roll)工艺。更具体地,本公开涉及将材料涂布在基板上的真空沉积、例如溅射。在一些应用中,涂布材料应当在柔性基板上形成条带,条带之间被间隙所分开。背景技术卷材可能需要接收已涂布的条带(已涂布的条带由未涂布的条带或间隙分开),例如,用于诸如形成电容器等的电子应用。卷材可由聚对苯二甲酸乙二酯(polyethyleneterephthalate,PET)或聚亚酰胺(polyimide,PI)形成,...
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