技术编号：11634079
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种辐射燃烧器(radiantburner)和方法。背景技术辐射燃烧器是已知的并且典型地用于处理来自在例如半导体或平板显示器制造工业中使用的制造加工工具的流出气体流。在该制造期间，剩余的全氟化合物(PFC)和其他的化合物在从加工工具泵送的流出气体流中存在。PFC难于从流出气体中移除并且它们释放到环境中是不期望的，因为它们已知具有相对高的温室活度。已知的辐射燃烧器使用燃烧以将PFC和其他的化合物从流出气体流中移除。典型地，流出气体流是含有PFC和其他的化合物的氮气流。燃料气体与流出气体流...
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