技术编号:11634285
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及检测物理量的传感器,特别涉及热式流量传感器。背景技术以往,作为设置在汽车等的内燃机的吸入空气通路中的、测定吸入空气量的空气流量传感器,热式的空气流量传感器因为能够直接检测质量空气量,所以逐渐成为主流。最近,利用半导体微细加工技术在硅基片上堆积电阻体和绝缘层膜之后,用以KOH等为代表的溶剂除去硅基片的一部分,形成薄膜部(diaphragm)的空气流量元件因为具有高速响应性、并且能够检测逆流,所以受到关注。另一方面,关于对作为汽车用部件的热式流量计要求的性能之一,可以列举防尘性。作为汽车用...
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